真空系统计算的目的在于给**选择真空系统的真空泵、真空阀门、真空管道及各种配件提供依据。设计真空系统,首先要根据使用技术要求计算,从而确定合适的真空泵。根据真空泵的规格,再配置相应的真空阔门和真空管道。配置真空泵包括确定选择什么样的真空泵和真空泵的大小(即真空泵抽气速率的大小)这两个问题。
(1)根据使用技术条件,确定选择真空泵的方案:根据真空热处理炉使用技术条件及所要求的真空度,确定选择什么样的真空泵。低真空的真空热处理炉,只需配备一个机械真空泵。真空度要求高的真空热处理炉,需要几级真空泵串联,才能满足使用真空度的要求。泵的串联有增压泵一机械真空泵。扩散泵一增压泵一机械真空泵。扩散泵一机械真空泵等方式。在几级泵串联的系统中,要先确定高真空的主泵,根据主泵确定与之相匹配的前级泵。选择主泵时,泵的极限真空度要高于真空热处理炉的极限真空度1^-2个数量级。
(2)真空泵抽气速率的计算:真空泵的抽气速率,根据真空热处理炉的放气量进行计算。真空热处理炉在工作过程中所放出的气体可分为四类:炉料(被处理的材料)的放气。真空热处理炉内壁及内部构件表面,因压强降低,温度升高,解析出的气体。隔热层炉衬的放气以及真空热处理炉因泄漏渗入炉内的气体。真空热处理炉总的放气量。
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