我们所知道的电离真空计:电离真空计是测量高真空的主要真空计。在低压强气体中，气体分子被电离所生成的正离子数与气体的压强，即气体分子的密度成正比。利用此原理制成的真空计叫电离真空计。按照产生离子方法的不同，利用由热阴极发射电子，使气体分子电离的原理制成的真空计叫热阴极电离真空计。利用在强电场和强磁场作用下，由冷阴极放电作用使气体分子电离的原理制成的真空计，叫冷阴极电离真空计。

　　现将热阴极电离真空计的工作原理简介如下，热阴极电离真空计，由热阴极电离规管和测量仪器组成。测量仪器由规管工作电源，发射电流稳压装置和离子流测量放大器等部分组成。热阴板电离规管与被测真空系统相通。热阴极电离规管是一个三极管(图9),管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位，相对于阴极为负电位;栅极电位，相对’于阴极为正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射出电子。此电子在到达栅极过程中，同气体分子碰撞发生电离，产生正离子和电子。当发射电流一定时，正离子的数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后，经测量电路放大就可由指示电表读出被测系统真空度。

　　一般低真空测量和高真空测量不能用一种真空计来完成，因而采用复合真空计。目前，应用*广的是电离与热偶式复合真空计。它的汉l量范围为10-1-5x10一托。10-'---10-.托低真空由热偶真空计测量，l。一“-5x10一托高真空由电离真空计测量。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别插在被测真空系统上。通过复合真空计上的旋纽，分别给两个规曹加热，并选择使用。

　　真空系统量装置等部分组成真空系统由真空泵、管道、真空阀门、真空测炉的技术性能。真空系统配置的好坏，真空系统应满足直接影响真空热处理：

　　第一，真空系统必须满足真空室所要求的极限真空，并要有足够的抽气速率。为了达到真空室所要求的极限真空，必须选择合适的真空泵。由于真空泵处于极限真空时，其抽速为零，而被抽真空室由于有漏气、炉料放气等因熟所以，选择真空泵的极限真空度，要比真空室的极限真空高1^-2个数量级。例如，真空室的极限真空度要求5x10-t托，那末，选择真空泵的极限真空度就应是5x10-'^'5x10-‘托。真空泵的抽气速率应大于炉料和炉内结构材料的放气速率及真空室的漏气率。

　　第二，真空室的工作压强应与真空泵的*佳工作压强范围相适应。*佳工作压强，就是在此压强范围时，泵有较大的抽速。