(一)真空度:表示真空状态下气体稀薄的程度，通常用压强值.托，表示。

　　(二)极限真空:真空系统或真空泵在给定条件下，经充分抽气后，所能达到的稳定的*低压强。

　　(三)反压强:真空系统中有前级真空的真空泵的出口压强。

　　(四)抽气速率:在一定压强和温度下，单位时间内泵从被抽容器抽除的气体体积。

　　(五)漏气速率。单位时间内，气体通过漏孔漏入到真空容器中的气体量。单位为托·升/秒。

　　(六)压升率:真空系统或被抽容器，在单位时间内，因漏气而导致压强升高的值。单位为托/分或徽米汞往/分。

　　(七)总压强:真空系统中所有气体分压强的总和。

　　(八)分压强:真空系统中各种单一气体所具有的压强。

　　(九)饱和蒸气压:在一定的温度下，物质蒸发到空间所能达到的*大分压，称为该物质在此温度下的饱和蒸气压。

　　(十)平均自由程:一个分子与其他气体分子每连续两次碰掩所走过的路程叫自由程，相当多的不同自由程的平均值叫平均自由程。

　　(十一)粘滞流:气体分子平均自由程比导管截面*，J线性尺寸小得多的气体流动。

　　(十二)分子流:气体分子平均自由程大于导管截面*大线性尺寸的气体流动。

　　(十三)粘滞一分子流:处于粘滞流和分子流之间的流动。